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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  爐式設(shè)備  >  TFC化學(xué)氣相沉積  >  TFE-1200-50-220單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

簡要描述:單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;
與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低

  • 產(chǎn)品型號:TFE-1200-50-220
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-03-18
  • 訪  問  量:2443

詳細介紹

品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)≤10℃//min
內(nèi)部尺寸Φ80*220mmmm加熱方式電阻絲
最大功率3KkW控溫精度±1℃
最高溫度1200℃價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品特點:

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源,等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);

可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。


技術(shù)參數(shù)

型號:TFE - 1200 - 50 - 220

設(shè)計溫度:1150℃(短期)

額定溫度:1100℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

控制精度:±1℃

爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸:Φ80*220mm

加熱區(qū)長度:220mm

恒溫區(qū)長度:80mm

加熱元件:優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲

額定功率:3KW

供氣系統(tǒng):

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm(可定制)

射頻電源:

①射頻功率:5-500W;

②射頻頻率:13.56MHz;

③匹配方式:自動匹配

真空系統(tǒng):雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)

外形尺寸:1250*510*810mm

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)


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